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雅科貝思廠家代理

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無塵室外殼 XY 直線模組平臺

無塵室外殼DGL XY 直線模組平臺，采用雅科貝思無塵室蓋板標準DGL模組組成。具有良好的剛性性能，以及良好的定位精度。適用于無塵室環境。

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產品詳情

Akribis直線模組

直線電機特點：

A. 無鐵芯直線電機直驅

B. 高精度以及精準回零

C. 無塵室蓋板

直線模組匹配

模組	軸	電機型號	有效行程（mm）	運動質量（Kg）	總質量（Kg）	傳感器限位（mm）	硬限位（mm）
DGL200	上軸	AUM4-S2	300	3.1	29	304	320
	上軸	AUM4-S3	300	3.4	29	304	320
	下軸	AUM4-S3	300	24.9	103	304	320
	下軸	AUM4-S4	300	26.1	103	304	320

注：花崗巖的質量大約240Kg.

直線模組

性能參數

規格參數	單位	DGCR 300	DGCRS 300
1直線度	μm	±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm	±3μm/25mm，NTE±10μm/610mm
平面度		±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm	±3μm/25mm，NTE±10μm/300mm
重復精度（1μm分辨率）		±3μm（40μm光柵柵距	±3μm（40μm光柵柵距）
重復精度（1μm分辨率）		±1.5μm（20μm光柵柵距	±1.5μm（20μm光柵柵距）
重復精度（0.1μm分辨率）		±1μm（20μm光柵柵距）	±1μm（20μm光柵柵距）
重復精度（模擬量）		±5 counts	±5 counts
X-Y正交性	Arc-sec	10	10

注：所有的測量數據基于直線模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。

Akribis直線模組

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